发明名称 PRODUCTION METHOD OF MIS IC
摘要
申请公布号 JPS51142989(A) 申请公布日期 1976.12.08
申请号 JP19750066567 申请日期 1975.06.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOSA YASUNOBU
分类号 H01L29/78;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/50;H01L23/52 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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