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发明名称 TREATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6230325(A) 申请公布日期 1987.02.09
申请号 JP19850168978 申请日期 1985.07.31
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 TEZUKA MASASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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