一种以精密化学抛光法研制微透镜之技术

摘要

一种以精密化学抛光法研制微透镜之技术，系利用精密化学研磨抛光机中之化学抛光技术，该抛光技术所使用之抛光盘为绒布盘或其他软材质之抛光盘，当抛光之物件基板被真空吸附于载具下及下压接触到软性抛光盘时，会形成物件基板凸出部分之对应抛光盘下凹，而其它两侧凸出之特性，吾人可藉此特性进行抛光进而制得微透镜。