发明名称 SELF-ALIGNED CONTACTS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010033646(A) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 KR1020007007166 申请日期 2000.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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