| 发明名称 |
OVEN OPENING SHUTTER DEVICE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661164(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920232932 |
申请日期 |
1992.08.07 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YONEMITSU SHUJI;KANO RIICHI;TSUKADA YASUHIRO;IZUMI SHOICHIRO;SUZUKI MASUO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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