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发明名称 PLASMA UNIT CHAMBER
摘要
申请公布号 SU723942(A1) 申请公布日期 1984.05.15
申请号 SU19782643001 申请日期 1978.08.11
申请人 ERMILIN YU.M.,SU;ODINTSOV V.N.,SU;SAKHNENKO P.S.,SU 发明人 ERMILIN YU.M.,SU;ODINTSOV V.N.,SU;SAKHNENKO P.S.,SU
分类号 G21B1/17;G21B1/00;(IPC1-7):G21B1/00 主分类号 G21B1/17
代理机构 代理人
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