发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02151069(A) 申请公布日期 1990.06.11
申请号 JP19880304123 申请日期 1988.12.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 NEMOTO TOYOICHI;HAISHI TSUNEO
分类号 H01L29/74;H01L21/52 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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