| 发明名称 |
NEGATIVE RESIST COMPOSITIONS AND METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070045516(A) |
申请公布日期 |
2007.05.02 |
| 申请号 |
KR20050101879 |
申请日期 |
2005.10.27 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, SANG JUN |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/027;G03F7/075 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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