红外快速热处理设备

摘要

红外快速热处理设备，属于超大规模集成电路和半导体器件制造技术的工艺设备。本实用新型特征是由微机系统、红外热处理石英腔、悬臂传送片机构、双门过渡腔、自动取放片机构、高频感应加热源、测温与控温装置、气路及其控制等构成，微机自动控制半导体片的取放与传送、过渡腔双门的开闭、半导体片热处理温度和时间以及多路气体的流量从而实现自动快速热处理半导体片的目的，适用于集成电路和半导体器件的研制和工业化大生产。

主权项

1、一种红外快速热处理设备，由红外热处理石英腔、与石英腔连通的气路及其控制装置、高频感应加热源、传送半导体片机构、测温与控温装置及微机控制系统等部分所组成，所说的红外热处理石英腔由矩型石英腔体、绕在石英腔体外的高频线圈，固定在石英腔体内的红外反射板，在反射板内的二块平行石墨板所构成，其特征在于还有一不同时开启的双门过渡腔，该过渡腔与所说的红外热处理石英腔的一端相连接，所说的气路与该过渡腔连通，还包括微机控制的自动取放片机构。