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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PRUEFUNG VON DURCHKONTAKTLOCH-FEHLSTELLEN IN EINER MEHRLAGENPLATINE
摘要
申请公布号 DE3821422(A1) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 DE19883821422 申请日期 1988.06.24
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARA, YASUHIKO, MACHIDA, JP;ENDO, KENZO, HADANO, JP
分类号 G01N21/88;G01N21/64;G01N21/956;G01R31/28;G01R31/309;H05K3/00;H05K13/08;(IPC1-7):G01N21/88;H05K3/42;H04N7/18;G01M11/00 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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