| 发明名称 |
METHOD FOR NORMAL-TEMPERATURE JUNCTION OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1092702(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19960268028 |
申请日期 |
1996.09.18 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
TAKAGI HIDEKI;MAEDA RYUTARO;KIKUCHI KAORU;SUGA TADATOMO;TEI TAKURIYUU |
| 分类号 |
H05H3/00;B81C3/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H05H3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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