压板组件、抛光设备和抛光方法

摘要

本发明涉及压板组件、抛光设备和抛光方法。在用于抛光设备的压板组件中，压板支撑在抛光过程中与物体接触的抛光带，从而在抛光过程中压板向抛光带施加压力。多个第一囊在压板的整个表面上在第一方向延伸并以均匀的距离间隔开，第一囊向抛光带施加压力。多个第二囊在压板中心部分和外围部分之间的压板表面的中间部分上在第一方向延伸并位于第一囊之间，第二囊向抛光带施加压力。所述囊的压力通过压力控制器单独控制。不同压力通过所述囊独立施加于抛光带的不同部分。

主权项

1.一种用于抛光设备的压板组件，包括：压板，其支撑在抛光过程中与物体接触的抛光带，在抛光过程中该压板向该抛光带施加压力；多个第一囊，其在该压板的整个表面上在第一方向上延伸，且以均匀的距离间隔开，该第一囊向该抛光带施加压力；以及多个第二囊，其在该压板的中心部分和外围部分之间的该压板表面的中间部分上在该第一方向上延伸，且位于所述第一囊之间，该第二囊向该抛光带施加压力。