测量波前像差的方法和设备

摘要

一种用于测量波前像差的设备和方法。该设备包括：一用来反射该波前(126)的所选择部分的反射装置(128)，一用来捕捉与所选择的部分相关的信息成像装置(132)，和一用来从该捕捉的信息计算该波前的像差的处理器(136)。该方法包括：将波前(126)的所选择部分反射到该成像装置(132)上，捕捉与所选择部分相关的信息，和处理该捕捉的信息以推导该像差。

主权项

1.一种用于测量波前的传感器，所述传感器包括：多个反射镜，用来接收该波前，所述多个反射镜包括第一反射镜区，用来反射该波前的第一部分，所述第一反射镜区具有沿一个方向反射的第一方位和沿另一方向反射的第二方位；成像装置，用来检测该波前的所述第一部分，当所述第一反射镜区处于所述第一方位时，所述第一反射镜区就对波前的所述部分进行导向以便被所述成像装置接收，当所述第一反射镜区处于所述第二方位时，所述第一反射镜区就对波前的所述部分进行导向以便不被所述成像装置接收；和处理器，用来控制所述第一反射镜区在所述第一和第二方位之间移动。