发明名称 一种边发射半导体激光器腔面的再生方法
摘要 本发明涉及一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。本发明可以使由于COD问题失效的激光器,恢复大部分工作性能,有效延长激光器的使用寿命。
申请公布号 CN105742957A 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201610172695.0 申请日期 2016.03.24
申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 王亚楠;李耀耀;王庶民;曹春芳
分类号 H01S5/10(2006.01)I 主分类号 H01S5/10(2006.01)I
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人 黄志达
主权项 一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室