发明名称 |
一种边发射半导体激光器腔面的再生方法 |
摘要 |
本发明涉及一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。本发明可以使由于COD问题失效的激光器,恢复大部分工作性能,有效延长激光器的使用寿命。 |
申请公布号 |
CN105742957A |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201610172695.0 |
申请日期 |
2016.03.24 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
王亚楠;李耀耀;王庶民;曹春芳 |
分类号 |
H01S5/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海泰能知识产权代理事务所 31233 |
代理人 |
黄志达 |
主权项 |
一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。 |
地址 |
200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室 |