发明名称 |
A PLASMA COATING DEVICE OF ELECTRICITY CHUCK OF CERAMIC TYPE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR200169320(Y1) |
申请公布日期 |
2000.02.15 |
申请号 |
KR19990017052U |
申请日期 |
1999.08.18 |
申请人 |
WIN TECH. INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
YOON, KIL-JU |
分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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