摘要 |
【課題】塗布液を塗布パターンに応じて精度よく塗布することを可能にした塗布方法を提供する。【解決手段】実施形態の塗布方法においては、塗布領域となる外面11aを有する塗布ヘッド10を用意する。塗布ヘッド10を塗布対象物2の塗布面2a上に所定の間隙Gを持って配置する。塗布ヘッド10の外面11a上に塗布液を供給し、塗布液を塗布液供給位置Aから間隙Gに向けて外面11aに沿って流動させることにより、塗布ヘッド10と塗布面2aとの間に塗布液溜り4を形成する。塗布ヘッド10および塗布対象物2の少なくとも一方を移動させ、塗布液溜り4から塗布液を塗布面2aに塗布する。塗布ヘッド10の外面11aには、塗布液供給位置Aから移動方向と略直交する外面11aの幅方向xに塗布液を誘導する溝14が設けられている。【選択図】図6 |