AN APPARATUS OF MOVING A WAFER

摘要

실시 예는 수직 또는 수평 방향으로 이동하는 가이드, 상기 가이드에 설치되고, 서로 이격된 웨이퍼들을 안착시키는 이송 아암, 상기 가이드에 배치되고, 상기 이송 아암에 안착된 서로 이격된 웨이퍼들에 제1 레이저를 방출하는 레이저 방출부, 상기 이송 아암 아래에 배치되고, 상기 제1 레이저 중에서 상기 서로 이격된 웨이퍼들 사이의 틈을 통과한 제2 레이저를 포집하는 레이저 감지부를 포함한다.