发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6223148(A) 申请公布日期 1987.01.31
申请号 JP19850163393 申请日期 1985.07.23
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKA TOSHIO
分类号 H01L29/808;H01L21/337;H01L21/8226;H01L27/08;H01L27/082;H01L29/80 主分类号 H01L29/808
代理机构 代理人
主权项
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