光阻涂布管固定调整装置

摘要

一种光阻涂布管固定调整装置，其特点在于将知直线型的基座改为依照光阻涂布管圆周运动的弧形基座，使在弧形基座中的每一支光阻涂布管均能准确的对准晶片的中心点上。此外，分别利用两颗止附螺丝固定一支光阻涂布管，使光阻涂布管能分别做调整，改善知仅能对所有的光阻涂布管同时进行调整。

主权项

1.一种光阻涂布管固定调整装置,连接在光阻涂布装置方悬臂上,包括:一弧形基座,该弧形基座包括一内表面与一外表面,且该弧形基座之该内表面与该悬臂相连接;复数个光阻涂布管,设置于该弧形基座上,并依照该弧形基座之弧度排列,其作用是将光阻液滴附在晶片表面;以及复数个上附螺丝,分别位于该弧形基座之该两表面上,该些止附螺丝作用是固定及调整该些光阻涂布管。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该弧形基座之弧度是依照该些光阻涂布管圆周运动计算所设计。3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该些止附螺丝尺寸为8mm。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该些止附螺丝可分别对该光阻涂布管做调整。图式简单说明:第一图是习知一种光阻涂布装置之示意图;第二A图是习知一种光阻涂布管固定调整装置之上视图;第二B图是习知一种光阻涂布管固定调整装置之正视图;第三A图是依照本创作一较佳实施例,一种光阻涂布管固定调整装置之正视图,以及第三B图是依照本创作一较佳实施例,一种光阻涂布管固定调整装置之上视图。