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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5378168(A) 申请公布日期 1978.07.11
申请号 JP19760153352 申请日期 1976.12.22
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TANIGUCHI KENJI
分类号 H01L29/94;H01L21/31;H01L21/316;H01L29/93 主分类号 H01L29/94
代理机构 代理人
主权项
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