改良式微应力计四点弯曲之校正系统

摘要

本创作提出一种微应力计四点弯曲之校正系统，其系在一半导体材料上制作至少一微应力计，微应力计表面引伸出许多电路接点。一电路板其表面制作有线路及插孔，两者系电性连接。利用一引线使微应力计之电路接点电连接至电路板之插孔，因此经由插孔便可对微应力计进行校正。本创作能够提升微应力计校正之精确度，并且使微应力计校正之过程更为简便。

主权项

1.一种微应力计四点弯曲之校正系统,其系用来量测一半导体材料之电特性变化量与应力之间的关系,该系统包括:至少一微应力计,制作于该半导体材料上,该至少一微应力计具有许多电路接点藉引线将讯号引出;对该半导体材料不同之二位置施加外力之装置;提供该半导体材料二支点之装置;以及电路板,表面制作有线路连接该引线之一端,该电路板并设有数插孔与该线路电连接。2.如申请专利范围第1项所述之应力计四点弯曲之校正系统,其中该电路板更包括在该线路与该半导体材料之间附近设置支撑物支撑该引线。3.如申请专利范围第1项或第2项所述之微应力计四点弯曲之校正系统,更包括调整该电路板与该半导体材料相对高度之装置。