| 摘要 |
<p>본 발명은 원자력 계통 및 일반 산업용의 원통형 기계요소나 군수용 장비에서 사용하고 있는 원통형 관 내벽을 플라즈마를 이용하여 표면 처리를 하는 동적 플라즈마의 확산에 의한 관내벽 표면 처리 장치에 관한 것으로서, 중앙의 도체봉과 이와 동심으로 배열된 표면처리하고자 하는 원통형 관을 두 전극으로 하여 이 두전극의 한쪽 끝에서 펄스방전으로 원판 모양의 플라즈마를 발생시키면, 발생된 플라즈마는 자체의 방전전류에 의한 원주방향의 자장과 축방향의 외부인가 자장과의 합성자장에 의하여 나선형 운동을 하게 되는데, 이러한 플라즈마의 동적 특성을 이용하여 원통형 관의 내벽을 균일하게 표면처리 할 수 있게 되며, 특히 내경에 비하여 길이가 긴 원통형 관 내벽을 균질하게 처리할 수 있고, 길이방향에 따른 표면처리 정도를 조정하는 것도 외부에서 인가하는 자장의 세기/공간분포와 함께 방전펄스전력을 변조함으로써 가능하게 되며, 관의 내벽이 나선형 구조를 갖는 경우에도 외부인가 자장의 세기로 플라즈마의 회전속도를 조절하여 표면처리할 수 있으며, 질화, 탄화, a-C 또는 TN, TAlN, TC 등 복합원소에 이르기까지 원하는 표면처리층에 따라 적합한 작동기체나 중앙전극의 재료를 선택할 수 있으며, 빠른 표면처리가 가능하며, 표면 입사 에너지 밀도의 조절에 의한 모재의 변형없는 표층 가열로 입자의 확산속도나 상변이 및 화합물층 조성 등의 조정을 동시에 처리 할 수 있다.</p> |
