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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING FINE PARTICLES
摘要
申请公布号 KR100912627(B1) 申请公布日期 2009.08.17
申请号 KR20077008469 申请日期 2007.04.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/368;B03C5/02;B05B5/025;B82Y10/00;B82Y40/00;G11B5/85;G11B7/26;H01L29/06;H01L33/00 主分类号 H01L21/368
代理机构 代理人
主权项
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