| 摘要 |
중공 몸체 내부(410)를 보호하기 위한 장치 및 방법이 제공되는바, 여기에는 상기 중공 몸체의 개구(411)에 부착가능한 포트 조립체(port assembly)를 포함하는 유입 및 배출 매니폴드(inlet and exhaust manifold)가 제공되고, 상기 포트 조립체 및 상기 개구를 통하여 반응성 가스들을 상기 중공 몸체 내부로 순차적으로 유입시킴으로써 상기 중공 몸체 내부가 순차적인 자체-포화 표면 반응(self-saturating surface reaction)들에 노출되며, 잉여 가스들은 상기 개구 및 상기 포트 조립체를 통하여 상기 중공 몸체로부터 외부로 펌핑(pumping)된다. 이로서 얻어지는 기술적 효과로서: 형태가 일치하는 보호 코팅, 중공 몸체 내부 만의 코팅, 및 주위 챔버의 클리닝 필요 저감이 얻어진다. |
