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发明名称 BOAT FOR SUPPORTING A BODY TO BE HEATED
摘要
申请公布号 JPH10209062(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970008358 申请日期 1997.01.21
申请人 SONY CORP 发明人 KOGA KUNIAKI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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