发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5468162(A) 申请公布日期 1979.06.01
申请号 JP19770134581 申请日期 1977.11.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUGIYAMA MASAYOSHI;SAKURADA SHIYUUROKU
分类号 H01L29/41;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/74;H01L29/861 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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