发明名称 A production method of superconductive thin film and a device thereof
摘要
申请公布号 SG111093(G) 申请公布日期 1995.04.28
申请号 SG19930001110 申请日期 1993.10.02
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LIMITED 发明人 HIGUCHI FUMINORI
分类号 C23C14/08;H01B12/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
地址