发明名称 |
A production method of superconductive thin film and a device thereof |
摘要 |
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申请公布号 |
SG111093(G) |
申请公布日期 |
1995.04.28 |
申请号 |
SG19930001110 |
申请日期 |
1993.10.02 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LIMITED |
发明人 |
HIGUCHI FUMINORI |
分类号 |
C23C14/08;H01B12/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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