发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SUPPORT FRAME FOR PELLICLE SUPPORT FRAME FOR PELLICLE AND PELLICLE
摘要 본 발명은 양극 산화 처리에 의해 충분히 흑색화된 양극 산화피막을 형성할 수 있고, 공업적으로 저렴하고, 또한 간편하게 펠리클용 지지 프레임을 얻을 수 있는 방법, 그것에 의해 얻어진 펠리클용 지지 프레임 및 펠리클을 제공하는 것이다. 광학적 박막체를 구비하여 펠리클로서 사용되는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법이며, Al-Zn-Mg계 알루미늄 합금을 포함하는 알루미늄재를 어닐링한 후, 알칼리성의 욕 중에서 양극 산화 처리하여, 명도 지수 L값이 40 이하인 양극 산화피막을 형성하는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법이고, 또한 이것에 의해 얻어진 펠리클용 지지 프레임 및 광학적 박막체를 구비한 펠리클이다.
申请公布号 KR101672660(B1) 申请公布日期 2016.11.03
申请号 KR20157003553 申请日期 2013.07.11
申请人 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤 发明人 야마구치 다카유키;다구치 요시히로;이이즈카 아키라
分类号 G03F1/64 主分类号 G03F1/64
代理机构 代理人
主权项
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