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发明名称 Substratsstruktur für zusammengesetztes Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE68928087(T2) 申请公布日期 1997.10.16
申请号 DE19896028087T 申请日期 1989.01.05
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KITAHARA, KOICHI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;NATSUME, YOSHINORI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;HOSOKI, YOSHINORI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L27/06;H01L21/762;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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