发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE BY LOW TEMPERATURE CVD
摘要
申请公布号 KR20000069454(A) 申请公布日期 2000.11.25
申请号 KR1019997005280 申请日期 1999.06.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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