| 主权项 |
1.一种LCD电路光阻组合物,其至少包含:(A)混合的聚合物树脂,其系包含一分子量介于3,000至9,000间的清漆树脂及一分子量介于3,500至10,000间的分馏清漆树脂;(B)一感光性二叠氮类化合物;(C)一光敏剂;及(D)有机溶剂。2.如申请专利范围第1项所述之LCD电路光阻组合物,其中该光阻组合物包含:(A)5-30%(重量百分比)之一混合的聚合物树脂,其系包含一分子量介于3,000至9,000间的清漆树脂及一分子量介于3,500至10,000间的分馏清漆树脂;(B)2-10%(重量百分比)之一光敏二叠氮类化合物;(C)0.1-10%(重量百分比)之一光敏剂;及(D)60-90%(重量百分比)之有机溶剂。3.如申请专利范围第1项所述之LCD电路光阻组合物,其中由该清漆树脂与该分馏清漆树脂组成之混合物的比例系介于10份对90份(重量):90份对10份(重量)间。4.如申请专利范围第1项所述之LCD电路光阻组合物,其中之光敏二叠氮类化合物是一由2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮-1,2-二叠氮-5-磺酸酯与2,3,4-三羟基二苯甲酮-1,2-二叠氮-5-磺酸酯所组成之混合物。5.如申请专利范围第4项所述之LCD电路光阻组合物,其中该由2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮-1,2-二叠氮-5-磺酸酯与2,3,4-三羟基二苯甲酮-1,2-二叠氮-5-磺酸酯所组成之混合物的比例系介于30份对70份(重量):70份对30份(重量)间。6.如申请专利范围第1项所述之LCD电路光阻组合物,其中之光敏剂至少为选自下列式1.2.3.4.及5所组成之化合物群组中之一种:其中R可分别或同时为氢、-(CH3)n 、-(CH3CH2)n、-(OH)n、或是一苯基(n是一介于0至5间的整数)。7.如申请专利范围第6项所述之LCD电路光阻组合物,其中之多羟基化合物是4,4-[1-[4-[1-(1,4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉]二苯酚(TPPA)。8.如申请专利范围第6项所述之LCD电路光阻组合物,其中之多羟基化合物是2,3,4-三羟基二苯甲酮。9.如申请专利范围第1项所述之LCD电路光阻组合物,其中之有机溶剂为至少一种选自下列之溶剂,包括丙二醇甲醚醋酸酯(以下简称「PGMEA」)与由PGMEA与乳酸乙酯(EL)、乙酸2-甲氧乙酯(MMP)、丙二醇单甲醚(PGME)所组成之混合物。10.一种以申请专利范围第1项所述之LCD电路光阻组合物制备而成的半导体装置,其中之组合物系覆镀于一导电金属层或一绝缘层上,以于曝光及显影步骤并以蚀刻及剥除步骤进行移除后形成一光阻图案。 |
