旋涂玻璃组合物及使用其于半导体制程中形成二氧化矽层之方法

摘要

本发明揭示一种旋涂玻璃(SOG)组合物及使用该SOG组合物形成一二氧化矽层之方法。该方法包括在其有一表面间断性之一半导体基板上，涂布包含聚矽氮烷之一SOG组合物以形成一平坦的SOG层，该聚矽氮烷之化合物化学式为-(SiH2NH)n-，其中n表示一正整数，其重量平均分子量在约3,300至3,700范围内。藉由固化该SOG层而将该SOG层转换成具有一平坦表面之一二氧化矽层。还揭示一种藉由该方法而制作的半导体装置。