| 摘要 |
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 다중기판 이송로봇에 관한 것이다. 본 발명의 다중기판 이송로봇은 몸체부에 이동가능하게 설치되는 복수 개의 이송암; 상기 복수 개의 이송암 중 일부에 설치되어 기판이 안착되는 복수 개의 에지그립 앤드이펙터를 갖는 에지그립부; 및 상기 복수 개의 이송암 중 일부에 설치되어 기판을 진공 흡착하는 복수 개의 진공그립 앤드이펙터를 갖는 진공그립부를 포함하여 상기 에지그립부 또는 상기 진공그립부 중 하나를 선택적으로 구동하여 기판을 이송한다. 본 발명의 다중 기판이송로봇에 의하면, 하나의 기판이송로봇을 이용하여 에지그립 방식 또는 진공그립 방식 중 어느 한 방식을 선택하여 기판을 이송할 수 있으므로 다양한 기판처리공정에 활용이 가능하다. 또한 여러 공정이 포함된 시스템에 적용시 각 공정별로 기판이송로봇을 구비하지 않아도 되어 설비 구축비용이 절감된다. |
