| 发明名称 |
光学要素を交換するための光学ステーション |
| 摘要 |
【課題】本発明は、光学要素を交換するための光学ステーションに関する。【解決手段】本発明は、光学要素それぞれを保持するための複数のホルダーと、複数のホルダーを収容するための複数の収容空間を有している回転とされるマガジンと、光学要素のうち選択された一の光学要素を固定及び保持するためのホルダークランプを有している位置決め装置と、マガジンを回転させるためのマガジンアクチュエータと、光軸に対して平行とされる方向においてマガジンを移動させるための直動手段と、を備えているレーザー加工装置のための光学ステーションを提供する。マガジンは、位置決め装置がホルダーを収容空間から揚重するように、位置決め装置に向かって変位される。【選択図】図３Ａ |
| 申请公布号 |
JP2017050538(A) |
申请公布日期 |
2017.03.09 |
| 申请号 |
JP20160167656 |
申请日期 |
2016.08.30 |
| 申请人 |
エーエスエム・テクノロジー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド |
发明人 |
ヨプ・フィアネン;ラルフ・ペトルス・フランシス・ノイイェン;ヘリット・アリー・ファン・オーイク;マリウス・ファン・デル・ドゥーシュ |
| 分类号 |
H01L21/301;B23K26/04;B23K26/364;G02B7/00 |
主分类号 |
H01L21/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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