| 发明名称 | 用于将加工工具相对于工件定位的装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于将加工工具相对于工件定位的一种装置和一种方法。在此，目标校准标记和工件布置在第一目标上。在工件上还布置有工件校准标记。在相对于第一目标沿着至少一个运动方向能运动地布置的第二目标上布置有加工工具，通过该加工工具能探测目标校准标记。此外，在其上还布置有校准传感器，通过该校准传感器能探测目标校准标记和工件校准标记。此外在第二目标上还布置有能扫描的整体量具，该整体量具沿着至少一个运动方向延伸。在第一目标上布置有至少两个用于对整体量具进行扫描的扫描单元，以便这样沿着运动方向确定在第一和第二目标之间的相对位置，其中，两个扫描单元具有定义的偏差。 | ||
| 申请公布号 | CN103258769B | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201310049208.8 | 申请日期 | 2013.02.07 |
| 申请人 | 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司 | 发明人 | 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔;约尔格·德雷谢尔;马库斯·迈斯纳;拉尔夫·约尔格尔;伯恩哈德·默施;托马斯·卡埃尔贝雷尔 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 余刚;李慧 |
| 主权项 | 一种用于将加工工具(B)相对于工件(WS)定位的装置，具有：‑第一目标(O1)，目标校准标记(M<sub>1</sub>)和所述工件(WS)布置在所述第一目标上，其中在所述工件(WS)上布置有工件校准标记(M<sub>2</sub>)；和‑第二目标(O2)；所述第二目标相对于所述第一目标(O1)沿着至少一个运动方向(x)能运动地布置，其中在所述第二目标(O2)上‑布置有所述加工工具(B)，通过所述加工工具能探测所述目标校准标记(M<sub>1</sub>)，和‑布置有校准传感器(W)，通过所述校准传感器能探测所述目标校准标记(M<sub>1</sub>)和所述工件校准标记(M<sub>2</sub>)，和‑布置有能扫描的整体量具(S)，所述整体量具沿着所述至少一个运动方向(x)延伸，其特征在于‑在所述第一目标(O1)上布置有用于对所述整体量具(S)进行扫描的至少两个扫描单元(E<sub>1</sub>，E<sub>2</sub>)，以便这样沿着所述运动方向(x)确定在所述第一目标(O1)和第二目标(O2)之间的相对位置，并且其中，两个所述扫描单元(E<sub>1</sub>，E<sub>2</sub>)具有定义的偏差<img file="FDA0001110406070000011.GIF" wi="135" he="84" />并且在两个所述扫描单元(E<sub>1</sub>，E<sub>2</sub>)之间的所述偏差<img file="FDA0001110406070000012.GIF" wi="125" he="87" />满足条件<img file="FDA0001110406070000013.GIF" wi="815" he="101" />其中，<img file="FDA0001110406070000027.GIF" wi="993" he="101" /><img file="FDA0001110406070000028.GIF" wi="1396" he="110" /> | ||
| 地址 | 德国特劳恩罗伊特 | ||