非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂

摘要

非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂，涉及吸气剂设备领域，尤其涉及非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂，其特征在于该吸气剂直接生长在光学窗口上，所述的吸气剂包括多孔结构调节层和气体吸收层，在光学窗口上沉积一层多孔结构调节层，多孔结构调节层上沉积一层气体吸收层。本实用新型的非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂，含有多孔结构调节层和气体吸收层，具有低温激活性质和高吸气性能，满足非制冷焦平面探测器陶瓷封装和晶圆级封装的图形化要求，且该薄膜吸气剂可靠性高，使用寿命长，易于大批量生产，有利于降低生产成本，提高经济效益。

主权项

非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂，其特征在于该吸气剂直接生长在光学窗口（1）上，所述的吸气剂包括多孔结构调节层（3）和气体吸收层（4），在光学窗口（1）上沉积一层多孔结构调节层（3），多孔结构调节层（3）上沉积一层气体吸收层（4）。