用于等离子体蚀刻腔室的TCCT匹配电路

摘要

本发明涉及用于等离子体蚀刻腔室的TCCT匹配电路，具体而言，本发明公开了匹配电路，其包括以下部分：功率输入电路，其与RF源耦合；内线圈输入电路，其耦合在功率输入电路和内线圈的输入端子之间，所述内线圈输入电路包括电感器和与所述电感器串联地耦合的电容器，电感器与功率输入电路连接，并且电容器与内线圈的输入端子连接，第一节点限定在功率输入电路和内线圈输入电路之间；内线圈输出电路，其耦合在内线圈的输出端子和地之间，内线圈输出电路限定与地的直接贯通连接；外线圈输入电路，其耦合在第一节点和外线圈的输入端子之间；以及外线圈输出电路，其耦合在外线圈的输出端子和地之间。

主权项

一种耦合在RF源和等离子体腔室之间的匹配电路，所述匹配电路包括：功率输入电路，所述功率输入电路与RF源耦合；内线圈输入电路，其耦合在所述功率输入电路和内线圈的输入端子之间，所述内线圈输入电路包括第一电感器和与所述第一电感器串联地耦合的第一可变电容器，所述第一电感器连接至所述功率输入电路，并且所述第一可变电容器连接至所述内线圈的所述输入端子，第一节点限定在所述功率输入电路和所述内线圈输入电路之间；内线圈输出电路，其耦合在所述内线圈的输出端子和地之间，所述内线圈输出电路限定直接贯通连接，所述直接贯通连接不包括电感器且是与地直接连接的；外线圈输入电路，其耦合在所述第一节点和外线圈的输入端子之间,所述外线圈输入电路具有第二可变电容器，所述外线圈输入电路经由所述第一节点进一步耦合到所述功率输入电路；外线圈输出电路，其耦合在所述外线圈的输出端子和地之间，其中所述外线圈输出电路包括第三电容器；其中所述第一节点分割来自所述功率输入电路的功率以用于分配到所述内线圈输入电路和所述外线圈输入电路，所述第一可变电容器和所述第二可变电容器被提供用于调节所述内线圈和所述外线圈之间的电流比。