发明名称 微机电封装结构及其制作方法
摘要 本发明公开一种微机电封装结构及其制作方法,该微机电封装结构包含一第一玻璃基板设于一微机电结构上,一封胶设于该第一玻璃基板与该微机电结构之间,以及一第一湿气阻隔层设于该第一玻璃基板、该封胶以及该微机电结构的侧壁。
申请公布号 CN105197877B 申请公布日期 2017.04.12
申请号 CN201410584169.6 申请日期 2014.10.27
申请人 立景光电股份有限公司 发明人 苏俊豪
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 主分类号 B81C1/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯
主权项 一种制作微机电封装结构的方法,包含:提供一微机电结构;利用一封胶将一第一玻璃基板设置于该微机电结构上;以及涂布一湿气阻隔层于该第一玻璃基板、该封胶以及该微机电结构的侧壁,其中涂布该湿气阻隔层的步骤包含:(a)形成一防湿层于该第一玻璃基板、该封胶以及该微机电结构的侧壁;(b)形成一保护层于该防湿层上;以及(c)形成一防水层于该保护层上。
地址 中国台湾台南市