表面波纹度、粗糙度在线测量仪

摘要

本发明公开了一种表面波纹度、粗糙度在线测量仪，包括测头和驱动装置，其中，所述测头为共焦位移计测头，所述驱动装置为音圈电机，所述共焦位移计通过音圈电机的驱动台驱动；还包括连接板，所述连接板将共焦位移计、音圈电机安装在生产加工设备检测工位的上面。本发明提供的表面波纹度、粗糙度在线测量仪，非接触式测量，不会对样品表面带来划伤，并且可以测量柔软或湿润样品。音圈电机的移动速度快，测量一条波纹度仅需要1s以内就可以完成，可以实现高效的在线检测。整套装置小巧可以方便的集成到各种加工产线上。另外，音圈电机驱动台比传统的丝杠或直线导轨更稳定，可以降低扫描装置对测量数据的影响。

主权项

一种表面波纹度、粗糙度在线测量仪，其特征在于：包括测头和驱动装置，其中，所述测头为共焦位移计测头，所述驱动装置为音圈电机，所述共焦位移计通过音圈电机驱动。