| 摘要 |
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Substrathaltevorrichtung (100a, 100b, 100c) Folgendes aufweisen: zwei parallel zueinander verlaufende Lagerbereiche (402h), an welchen die Substrathaltevorrichtung (100a, 100b, 100c) zum Transportieren dieser gelagert werden kann; und mehrere zwischen den zwei Lagerbereichen (402h) angeordnete Substrateinlegebereiche (111), von denen jeder Substrateinlegebereich (111) eine Aussparung (112, 132a) und eine Auflagefläche (111a) zum Halten eines Substrats (120) in der Aussparung (112, 132a) aufweist; und von denen jeder Substrateinlegebereich (111) eine Vertiefung (111v) aufweist, welche an die Auflagefläche (111a) angrenzt und diese zumindest abschnittsweise umgibt. |
