三次元物体の形状の少なくとも一部を確定するシステム及び対応する方法

摘要

本発明は、三次元物体（２）の形状の少なくとも一部を確定するシステム（１）及び方法に関する。システムは、物体をそれに当てることができるように配置された圧力領域検知部材（６）、並びに測定された圧力から形状を割り出すために測定された圧力の分布を演算する手段（３）に検知器部材を接続する要素（５）と、前記演算手段（３）と、物体を一定の圧力で検知器部材に適用する手段（９）と、を含む。検知器部材（６）は、圧力センサ（１７）のグリッド（１９）に堅固に接続された可撓性プラスチック材料のシート（１４）を備える断片（１４）を含み、前記グリッドは、中間層を含む。中間層は、圧力に応じて変化する抵抗率を有し、５０ナノメートル以下の厚さを有する微結晶シリコン半導体ウェーハを含む。