| 摘要 |
노광 장치는 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성하는 노광 소스, 제2 모드에서 상기 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산하고 제2 경로를 생성하며, 상기 제1 모드에서 상기 제1 경로 바깥으로 이탈되는 조명 소스, 기판을 정렬할 수 있는 노광 스테이지 및 상기 노광 스테이지 위에 위치되고 상기 제1 또는 제2 광을 상기 기판에 제공하는 상부 구면경을 포함한다. 따라서, 노광 장치는 하나의 조명 소스에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지 전체에 조명을 제공할 수 있다. |
