用于流体环境检测的谐振传感器

摘要

本发明公开了一种用于流体环境检测的谐振传感器，其中，压电声波谐振器谐振传感器包括：多层结构，多层结构包括以下结构中的至少之一：上电极、压电层和下电极；其中，多层结构中所有结构彼此重叠的区域为有效区域；至少一流道，对于每条流道，该流道的至少部分位于有效区域的表面或内部；其中，所有流道与有效区域的重叠部分的水平投影面积总和与有效区域的水平投影面积的比值小于或等于50%。本发明通过集成流道与谐振传感器，并且限制流道面积，能够提高谐振器的品质因数，从而得到更高的测量精度。

主权项

一种用于流体环境检测的谐振传感器，其特征在于，包括：多层结构，所述多层结构包括：上电极、压电层和下电极；其中，所述多层结构中所有结构彼此重叠的区域为有效区域；至少一流道，对于每条流道，该流道的至少部分位于所述有效区域的表面或内部；其中，所有流道与所述有效区域的重叠部分的水平投影面积总和与所述有效区域的水平投影面积的比值小于或等于50％，所述流道位于所述上电极的上方，且与所述上电极直接接触。