| 摘要 |
플라즈마를 이용한 실리콘-탄소(Si-C) 복합체를 제조하는 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플라즈마를 이용하여 실리콘 나노 입자를 형성하고, 실리콘 나노 입자와 탄소를 복합화하는 Si-C 복합체 제조장치 및 제조방법에 관하여 개시한다.본 발명은 반응 공간을 제공하는 반응 챔버; 상기 반응챔버의 상측에 구비되며, 플라즈마를 발생시켜 실리콘 전구체를 분해하여 Si 입자를 생성하는 플라즈마 토치부; 상기 반응챔버 내부에 구비되며, 상기 반응챔버 내부로 공급되는 Si 입자를 냉각하는 냉각부; 및 상기 반응챔버 내부로 탄소구조체를 공급하는 탄소체 공급부;를 포함하고, 상기 반응챔버 내부에서 상기 Si 입자와 상기 탄소구조체가 복합화되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 Si-C 복합체 제조장치를 제공한다. |
