一种真空氦检漏双箱联动装置

摘要

本实用新型公开了一种真空氦检漏双箱联动装置，包括支架，所述支架的下方固定有真空箱a与真空箱b，所述真空箱a与真空箱b上分别设置有第一管路接驳装置与第二管路接驳装置，所述支架上设置有氮气回收装置、氦质谱检漏仪和抽空泵组；设置有管路自动接驳装置，能在箱内完成管路接驳，较人工箱外接驳管路大大缩短了接驳管路的长度；管路自动接驳装置的应用有效提高抽空速度，避免因为管长内部各处压力不等，造成抽空气体的粘滞流，而严重影响抽速；该装置实现了省人化、有效缩短工时，平衡了相关节点流程工时，为柔性联动提供了必要的条件。

主权项

一种真空氦检漏双箱联动装置，包括支架（4），其特征在于：所述支架（4）的下方固定有真空箱a（6）与真空箱b（7），所述真空箱a（6）与真空箱b（7）上分别设置有第一管路接驳装置（1）与第二管路接驳装置（2），所述支架（4）上设置有氦气回收装置（8）、氦质谱检漏仪（9）和抽空泵组（3）。