| 摘要 |
본 발명은 기판 세정을 위한 가스 공급 배관에 연결되는 어댑터에 관한 것으로, 일측에 세정 가스 공급부와 연결 배관으로 연결되며 타측에 세정 가스를 기판으로 분사하는 연결 어댑터가 연결되는 어댑터 몸체와; 어댑터 몸체의 일측에 어댑터 몸체의 길이방향으로 테이퍼(taper)지도록 형성되어 연결 배관을 통해 공급되는 세정 가스를 가속시켜 분사하는 제1테이퍼 공간부와; 제1테이퍼 공간부와 연통되며 제1테이퍼 공간부를 따라 어댑터 몸체에 나사선형으로 형성되어 제1테이퍼 공간부에 의해 가속된 세정 가스를 회전시키는 다수개의 나선형 홈부와; 제1테이퍼 공간부와 연통되며 어댑터 몸체의 타측에 어댑터 몸체의 길이방향으로 테이퍼(taper)지도록 형성되어 제1테이퍼 공간부와 다수개의 나선형 홈부에 의해 가속되고 회전된 세정 가스가 연결 어댑터로 공급되도록 유도하는 제2테이퍼 공간부로 구성되는 것을 특징으로 한다. |
