一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的方法及装置

摘要

本发明公开了一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的方法及装置，包括以下步骤：S1、将多晶硅还原炉钟罩吊装放置在支撑台柱上；S2、启动激光发生器，旋转工作盘带动Z轴向滑轨转动，X轴向滑轨在Z轴向滑轨上自下而上滑动，通过Z轴向滑轨、X轴向滑轨和旋转工作盘自动对多晶硅还原炉钟罩进行自下而上旋转式扫描；S3、利用激光发射头发出激光对多晶硅还原炉钟罩内壁进行照射，迅速方便的祛除附着在多晶硅还原炉钟罩内壁的氧化皮，还原其金属本色。本发明能快速、光洁地祛除多晶硅还原炉钟罩氧化皮，对多晶硅还原炉钟罩无损伤；投资回收快成本低，无噪音；不需使用任何化学药剂和去污液，去污下来的氧化皮为固体粉末，可回收，不会污染环境。

主权项

一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将多晶硅还原炉钟罩吊装放置在支撑台柱上；S2、启动激光发生器，旋转工作盘带动Z轴向滑轨转动，X轴向滑轨在Z轴向滑轨上自下而上滑动，通过Z轴向滑轨、X轴向滑轨和旋转工作盘自动对多晶硅还原炉钟罩进行自下而上旋转式扫描；S3、利用激光发射头发出激光对多晶硅还原炉钟罩内壁进行照射，迅速方便的祛除附着在多晶硅还原炉钟罩内壁的氧化皮，还原其金属本色。