高精度复合式测量机的坐标统一标定器及标定方法

摘要

一种高精度复合式测量机的坐标统一标定器及标定方法，标定器是用于集图像传感器、接触式传感器和非接触位移传感器为一体的复合式坐标测量机的标定，包括圆柱体，圆柱体的上端面固定设置有圆锥台，圆锥台与所述圆柱体同轴设置。方法包括：分别采用图像传感器、接触式传感器和非接触位移传感器对标定器进行测量；以单个传感器完成标定为前提，完成工件的测量，具体是用一个标定器实现图像传感器、接触式传感器、非接触位移传感器的两两坐标或三者坐标统一。本发明图像传感器对锥顶圆一次成像，求取圆心；接触式传感器二维运动于圆柱表面取点，求取圆心，从而减少了测量时的机械运动误差。有利于高精度复合测量机的坐标统一或位置标定。

主权项

一种高精度复合式测量机的坐标统一标定器，是用于集图像传感器、接触式传感器和非接触位移传感器为一体的复合式坐标测量机的标定，其特征在于，包括圆柱体(1)，所述圆柱体(1)的上端面固定设置有圆锥台(2)，所述圆锥台(2)与所述圆柱体(1)同轴设置。