| 摘要 |
이물질의 접착 및 축적을 방지하는 데 뛰어난 구조화된 표면을 갖는 연마 재료, 및 이의 제조 방법을 제공함. 본 발명의 실시 형태의 연마 재료는 상부에 배열된 복수의 3차원 요소를 갖는 구조화된 표면을 가진 연마 층을 갖는 연마 재료로서, 불소 처리 및 규소 처리로 이루어진 군으로부터 선택되는 표면 처리가 구조화된 표면의 적어도 일부에 대해 수행되며, 불소 처리는 플라즈마 처리, 화학 증착, 물리 증착, 및 불소 기체 처리로 이루어진 군으로부터 선택되는, 연마 재료이다. |
