发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
公开了一种半导体器件,包括:垂直沟道层,其形成在半导体衬底之上;第一层叠导电层,其以预定间隔层叠在半导体衬底上以围绕垂直沟道层的一侧表面;第二层叠导电层,其以预定间隔层叠在半导体衬底上以围绕垂直沟道层的另一侧表面;第一电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第一层叠导电层之间;以及第二电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第二层叠导电层之间。 |
申请公布号 |
CN105938836A |
申请公布日期 |
2016.09.14 |
申请号 |
CN201510520651.8 |
申请日期 |
2015.08.21 |
申请人 |
爱思开海力士有限公司 |
发明人 |
郑盛旭 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 |
代理人 |
俞波;许伟群 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:垂直沟道层,其形成在半导体衬底之上并且在第一方向上延伸;第一导电层叠,其在第一方向上延伸,形成在半导体衬底之上,以及围绕垂直沟道层的第一侧表面;第二导电层叠,其在第一方向上延伸,形成在半导体衬底之上,以及围绕垂直沟道层的第二侧表面;第一电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第一导电层叠之间;以及第二电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第二导电层叠之间。 |
地址 |
韩国京畿道 |