发明名称 半导体器件
摘要 公开了一种半导体器件,包括:垂直沟道层,其形成在半导体衬底之上;第一层叠导电层,其以预定间隔层叠在半导体衬底上以围绕垂直沟道层的一侧表面;第二层叠导电层,其以预定间隔层叠在半导体衬底上以围绕垂直沟道层的另一侧表面;第一电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第一层叠导电层之间;以及第二电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第二层叠导电层之间。
申请公布号 CN105938836A 申请公布日期 2016.09.14
申请号 CN201510520651.8 申请日期 2015.08.21
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 郑盛旭
分类号 H01L27/115(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;许伟群
主权项 一种半导体器件,包括:垂直沟道层,其形成在半导体衬底之上并且在第一方向上延伸;第一导电层叠,其在第一方向上延伸,形成在半导体衬底之上,以及围绕垂直沟道层的第一侧表面;第二导电层叠,其在第一方向上延伸,形成在半导体衬底之上,以及围绕垂直沟道层的第二侧表面;第一电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第一导电层叠之间;以及第二电荷储存层,其布置在垂直沟道层与第二导电层叠之间。
地址 韩国京畿道